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LIQUID FLOW METER FLOW METER

액체 유량계(PC제 ・ 밸브 부속)

CODE NO	MODEL	SPECIFICATION
2-942-11	KZ-7003-ST	사양 : 유량계 스탠드 / 사이즈 : 165 x 130 x 210㎜

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LIQUID FLOW METERS

액체 유량계(PC제 ・ 밸브 부속)

CODE NO	MODEL	SPECIFICATION
2-942-01	KZ-7003-04L	유량(ℓ/min) : 0.5~4
2-942-02	KZ-7003-07L	유량(ℓ/min) : 1~7
2-942-03	KZ-7003-09L	유량(ℓ/min) : 2~9

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LIQUID LEAKAGE SENSOR

누설액센서시스템

CODE NO	MODEL	SPECIFICATION
1-4308-01	SCW-01-L	사양 : 누설액센서 시스템
1-4308-11	AWL10-NP-2	사양 : 추가용 센서
1-4308-12	LT-109	사양 : 100 V전원 RELAY 상자

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LIQUID LEAKAGE SENSOR

방폭형 루액센서

CODE NO	MODEL	SPECIFICATION
1-2363-02	RS-3030F-6430	사양 : 검지부 / 설치구 재질 : PVC(염화 비닐 수지)

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LIQUID LEAKAGEALARM

루액알람

CODE NO	MODEL	SPECIFICATION
2-917-01	EM0320	검지방법 : 전극식 / 적용 매체 : 물

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LIQUID LEVEL DETECTOR

액면검지기(용기외측 부착식)

CODE NO	MODEL	SPECIFICATION
2-984-01	CLLAS-4	사양 : 본체＋전극

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MASS FLOW CONTROLLER

매스플로우 컨트롤러

CODE NO	MODEL	SPECIFICATION
2-752-01	SEC-E40MK3-10CCM	대응가스-조인트 : N₂-SW / 풀스케일 유량(CCM) : 10
2-752-02	SEC-E40MK3-10CCM	대응가스-조인트 : O₂-SW / 풀스케일 유량(CCM) : 10
2-752-03	SEC-E40MK3-10CCM	대응가스-조인트 : Air-SW / 풀스케일 유량(CCM) : 10
2-752-04	SEC-E40MK3-10CCM	대응가스-조인트 : H₂-SW / 풀스케일 유량(CCM) : 10
2-752-05	SEC-E40MK3-10CCM	대응가스-조인트 : Ar-SW / 풀스케일 유량(CCM) : 10
2-752-06	SEC-E40MK3-10CCM	대응가스-조인트 : He-SW / 풀스케일 유량(CCM) : 10
2-752-07	SEC-E40MK3-10CCM	대응가스-조인트 : N₂-VCR / 풀스케일 유량(CCM) : 10
2-752-08	SEC-E40MK3-10CCM	대응가스-조인트 : O₂-VCR / 풀스케일 유량(CCM) : 10
2-752-09	SEC-E40MK3-10CCM	대응가스-조인트 : Air-VCR / 풀스케일 유량(CCM) : 10
2-752-10	SEC-E40MK3-10CCM	대응가스-조인트 : H₂-VCR / 풀스케일 유량(CCM) : 10
2-752-11	SEC-E40MK3-10CCM	대응가스-조인트 : Ar-VCR / 풀스케일 유량(CCM) : 10
2-752-12	SEC-E40MK3-10CCM	대응가스-조인트 : He-VCR / 풀스케일 유량(CCM) : 10
2-753-01	SEC-E40MK3-100CCM	대응가스-조인트 : N₂-SW / 풀스케일 유량(CCM) : 100
2-753-02	SEC-E40MK3-100CCM	대응가스-조인트 : O₂-SW / 풀스케일 유량(CCM) : 100
2-753-03	SEC-E40MK3-100CCM	대응가스-조인트 : Air-SW / 풀스케일 유량(CCM) : 100
2-753-04	SEC-E40MK3-100CCM	대응가스-조인트 : H₂-SW / 풀스케일 유량(CCM) : 100
2-753-05	SEC-E40MK3-100CCM	대응가스-조인트 : Ar-SW / 풀스케일 유량(CCM) : 100
2-753-06	SEC-E40MK3-100CCM	대응가스-조인트 : He-SW / 풀스케일 유량(CCM) : 100
2-753-07	SEC-E40MK3-100CCM	대응가스-조인트 : N₂-VCR / 풀스케일 유량(CCM) : 100
2-753-08	SEC-E40MK3-100CCM	대응가스-조인트 : O₂-VCR / 풀스케일 유량(CCM) : 100
2-753-09	SEC-E40MK3-100CCM	대응가스-조인트 : Air-VCR / 풀스케일 유량(CCM) : 100
2-753-10	SEC-E40MK3-100CCM	대응가스-조인트 : H₂-VCR / 풀스케일 유량(CCM) : 100
2-753-11	SEC-E40MK3-100CCM	대응가스-조인트 : Ar-VCR / 풀스케일 유량(CCM) : 100
2-753-12	SEC-E40MK3-100CCM	대응가스-조인트 : He-VCR / 풀스케일 유량(CCM) : 100
2-754-01	SEC-E40MK3-500CCM	대응가스-조인트 : N₂-SW / 풀스케일 유량(CCM) : 500
2-754-02	SEC-E40MK3-500CCM	대응가스-조인트 : O₂-SW / 풀스케일 유량(CCM) : 500
2-754-03	SEC-E40MK3-500CCM	대응가스-조인트 : Air-SW / 풀스케일 유량(CCM) : 500
2-754-04	SEC-E40MK3-500CCM	대응가스-조인트 : H₂-SW / 풀스케일 유량(CCM) : 500
2-754-05	SEC-E40MK3-500CCM	대응가스-조인트 : Ar-SW / 풀스케일 유량(CCM) : 500
2-754-06	SEC-E40MK3-500CCM	대응가스-조인트 : He-SW / 풀스케일 유량(CCM) : 500
2-754-07	SEC-E40MK3-500CCM	대응가스-조인트 : N₂-VCR / 풀스케일 유량(CCM) : 500
2-754-08	SEC-E40MK3-500CCM	대응가스-조인트 : O₂-VCR / 풀스케일 유량(CCM) : 500
2-754-09	SEC-E40MK3-500CCM	대응가스-조인트 : Air-VCR / 풀스케일 유량(CCM) : 500
2-754-10	SEC-E40MK3-500CCM	대응가스-조인트 : H₂-VCR / 풀스케일 유량(CCM) : 500
2-754-11	SEC-E40MK3-500CCM	대응가스-조인트 : Ar-VCR / 풀스케일 유량(CCM) : 500
2-754-12	SEC-E40MK3-500CCM	대응가스-조인트 : He-VCR / 풀스케일 유량(CCM) : 500
2-755-01	SEC-E40MK3-1LM	대응가스-조인트 : N₂-SW / 풀스케일 유량(CCM) : 1000
2-755-02	SEC-E40MK3-1LM	대응가스-조인트 : O₂-SW / 풀스케일 유량(CCM) : 1000
2-755-03	SEC-E40MK3-1LM	대응가스-조인트 : Air-SW / 풀스케일 유량(CCM) : 1000
2-755-04	SEC-E40MK3-1LM	대응가스-조인트 : H₂-SW / 풀스케일 유량(CCM) : 1000
2-755-05	SEC-E40MK3-1LM	대응가스-조인트 : Ar-SW / 풀스케일 유량(CCM) : 1000
2-755-06	SEC-E40MK3-1LM	대응가스-조인트 : He-SW / 풀스케일 유량(CCM) : 1000
2-755-07	SEC-E40MK3-1LM	대응가스-조인트 : N₂-VCR / 풀스케일 유량(CCM) : 1000
2-755-08	SEC-E40MK3-1LM	대응가스-조인트 : O₂-VCR / 풀스케일 유량(CCM) : 1000
2-755-09	SEC-E40MK3-1LM	대응가스-조인트 : Air-VCR / 풀스케일 유량(CCM) : 1000
2-755-10	SEC-E40MK3-1LM	대응가스-조인트 : H₂-VCR / 풀스케일 유량(CCM) : 1000
2-755-11	SEC-E40MK3-1LM	대응가스-조인트 : Ar-VCR / 풀스케일 유량(CCM) : 1000
2-755-12	SEC-E40MK3-1LM	대응가스-조인트 : He-VCR / 풀스케일 유량(CCM) : 1000
2-756-01	SEC-E40MK3-10LM	대응가스-조인트 : N₂-SW / 풀스케일 유량(CCM) : 10000
2-756-02	SEC-E40MK3-10LM	대응가스-조인트 : O₂-SW / 풀스케일 유량(CCM) : 10000
2-756-03	SEC-E40MK3-10LM	대응가스-조인트 : Air-SW / 풀스케일 유량(CCM) : 10000
2-756-04	SEC-E40MK3-10LM	대응가스-조인트 : H₂-SW / 풀스케일 유량(CCM) : 10000
2-756-05	SEC-E40MK3-10LM	대응가스-조인트 : Ar-SW / 풀스케일 유량(CCM) : 10000
2-756-06	SEC-E40MK3-10LM	대응가스-조인트 : He-SW / 풀스케일 유량(CCM) : 10000
2-756-07	SEC-E40MK3-10LM	대응가스-조인트 : N₂-VCR / 풀스케일 유량(CCM) : 10000
2-756-08	SEC-E40MK3-10LM	대응가스-조인트 : O₂-VCR / 풀스케일 유량(CCM) : 10000
2-756-09	SEC-E40MK3-10LM	대응가스-조인트 : Air-VCR / 풀스케일 유량(CCM) : 10000
2-756-10	SEC-E40MK3-10LM	대응가스-조인트 : H₂-VCR / 풀스케일 유량(CCM) : 10000
2-756-11	SEC-E40MK3-10LM	대응가스-조인트 : Ar-VCR / 풀스케일 유량(CCM) : 10000
2-756-12	SEC-E40MK3-10LM	대응가스-조인트 : He-VCR / 풀스케일 유량(CCM) : 10000
2-757-01	SEC-E50MK3-20LM	대응가스-조인트 : N₂-SW / 풀스케일 유량(CCM) : 20000
2-757-02	SEC-E50MK3-20LM	대응가스-조인트 : O₂-SW / 풀스케일 유량(CCM) : 20000
2-757-03	SEC-E50MK3-20LM	대응가스-조인트 : Air-SW / 풀스케일 유량(CCM) : 20000
2-757-04	SEC-E50MK3-20LM	대응가스-조인트 : H₂-SW / 풀스케일 유량(CCM) : 20000
2-757-05	SEC-E50MK3-20LM	대응가스-조인트 : Ar-SW / 풀스케일 유량(CCM) : 20000
2-757-06	SEC-E50MK3-20LM	대응가스-조인트 : He-SW / 풀스케일 유량(CCM) : 20000
2-757-07	SEC-E50MK3-20LM	대응가스-조인트 : N₂-VCR / 풀스케일 유량(CCM) : 20000
2-757-08	SEC-E50MK3-20LM	대응가스-조인트 : O₂-VCR / 풀스케일 유량(CCM) : 20000
2-757-09	SEC-E50MK3-20LM	대응가스-조인트 : Air-VCR / 풀스케일 유량(CCM) : 20000
2-757-10	SEC-E50MK3-20LM	대응가스-조인트 : H₂-VCR / 풀스케일 유량(CCM) : 20000
2-757-11	SEC-E50MK3-20LM	대응가스-조인트 : Ar-VCR / 풀스케일 유량(CCM) : 20000
2-757-12	SEC-E50MK3-20LM	대응가스-조인트 : He-VCR / 풀스케일 유량(CCM) : 20000
2-758-01	SEC-E50MK3-30LM	대응가스-조인트 : N₂-SW / 풀스케일 유량(CCM) : 30000
2-758-02	SEC-E50MK3-30LM	대응가스-조인트 : O₂-SW / 풀스케일 유량(CCM) : 30000
2-758-03	SEC-E50MK3-30LM	대응가스-조인트 : Air-SW / 풀스케일 유량(CCM) : 30000
2-758-04	SEC-E50MK3-30LM	대응가스-조인트 : H₂-SW / 풀스케일 유량(CCM) : 30000
2-758-05	SEC-E50MK3-30LM	대응가스-조인트 : Ar-SW / 풀스케일 유량(CCM) : 30000
2-758-06	SEC-E50MK3-30LM	대응가스-조인트 : He-SW / 풀스케일 유량(CCM) : 30000
2-758-07	SEC-E50MK3-30LM	대응가스-조인트 : N₂-VCR / 풀스케일 유량(CCM) : 30000
2-758-08	SEC-E50MK3-30LM	대응가스-조인트 : O₂-VCR / 풀스케일 유량(CCM) : 30000
2-758-09	SEC-E50MK3-30LM	대응가스-조인트 : Air-VCR / 풀스케일 유량(CCM) : 30000
2-758-10	SEC-E50MK3-30LM	대응가스-조인트 : H₂-VCR / 풀스케일 유량(CCM) : 30000
2-758-11	SEC-E50MK3-30LM	대응가스-조인트 : Ar-VCR / 풀스케일 유량(CCM) : 30000
2-758-12	SEC-E50MK3-30LM	대응가스-조인트 : He-VCR / 풀스케일 유량(CCM) : 30000

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MASS FLOW CONTROLLER

매스플로우컨트롤러

CODE NO	MODEL	SPECIFICATION
1-1763-21	FCS-PM1000A-SP	사양 : 전원 표시 설정기 일체형 콘트롤러
1-1763-22	FCPT1200-DS9-DS15-3M-0.3SQ	사양 : MFC-콘트롤러간용 케이블(3m)
1-1763-23	FCPT1200-AC-2M	사양 : AC전원 케이블(2m)

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MASS FLOW CONTROLLERS

매스플로우 컨트롤러

CODE NO	MODEL	SPECIFICATION
3-5065-05	C1005	전유량-가스 종류：20SCCM-H2
3-5066-01	C1005	전유량-가스 종류：50SCCM-Air
3-5066-03	C1005	전유량-가스 종류：50SCCM-Ar
3-5068-05	C1005	전유량-가스 종류：200SCCM-Air
3-5070-01	C1005	전유량-가스 종류：1SLM-Air
3-5072-04	C1005	전유량-가스 종류：5SLM-He
3-5072-02	C1005	전유량-가스 종류：5SLM-N2
3-5559-11	MC-11RC-4SWLR4A0A0-11	사양：6.35 ㎜SWL 상당 / 유량：20~50SLM
3-5561-02	MC-10RC-4RC1R4A0A0-02	사양：6.35 ㎜RC 상당 / 유량：20~50SCCM
3-5561-07	MC-10RC-4RC1R4A0A0-07	사양：6.35 ㎜RC 상당 / 유량：800~2000SCCM
3-5066-04	C1005	전유량-가스 종류：50SCCM-He
3-5066-05	C1005	전유량-가스 종류：50SCCM-H2
3-5069-05	C1005	전유량-가스 종류：500SCCM-H2
3-5070-03	C1005	전유량-가스 종류：1SLM-Ar
3-5070-04	C1005	전유량-가스 종류：1SLM-He
3-5559-02	MC-10RC-4SWLR4A0A0-02	사양：6.35 ㎜SWL 상당 / 유량：20~50SCCM
3-5559-08	MC-10RC-4SWLR4A0A0-08	사양：6.35 ㎜SWL 상당 / 유량：2~5SLM
3-5560-01	MC-10RC-4VR2R4A0A0-01	사양：6.35 ㎜VCR 상당 / 유량：10~20SCCM
3-5560-02	MC-10RC-4VR2R4A0A0-02	사양：6.35 ㎜VCR 상당 / 유량：20~50SCCM
3-5560-05	MC-10RC-4VR2R4A0A0-05	사양：6.35 ㎜VCR 상당 / 유량：200~500SCCM
3-5560-08	MC-10RC-4VR2R4A0A0-08	사양：6.35 ㎜VCR 상당 / 유량：2~5SLM
3-5560-09	MC-11RC-4VR2R4A0A0-09	사양：6.35 ㎜VCR 상당 / 유량：4~10SLM
3-5559-05	MC-10RC-4SWLR4A0A0-05	사양：6.35 ㎜SWL 상당 / 유량：200~500SCCM
3-5560-04	MC-10RC-4VR2R4A0A0-04	사양：6.35 ㎜VCR 상당 / 유량：80~200SCCM
3-5561-05	MC-10RC-4RC1R4A0A0-05	사양：6.35 ㎜RC 상당 / 유량：200~500SCCM
3-5561-06	MC-10RC-4RC1R4A0A0-06	사양：6.35 ㎜RC 상당 / 유량：400~1000SCCM
3-5561-11	MC-11RC-4RC1R4A0A0-11	사양：6.35 ㎜RC 상당 / 유량：20~50SLM
3-5072-01	C1005	전유량-가스 종류：5SLM-Air
3-5559-01	MC-10RC-4SWLR4A0A0-01	사양：6.35 ㎜SWL 상당 / 유량：10~20SCCM
3-5559-07	MC-10RC-4SWLR4A0A0-07	사양：6.35 ㎜SWL 상당 / 유량：800~2000SCCM
3-5559-10	MC-11RC-4SWLR4A0A0-10	사양：6.35 ㎜SWL 상당 / 유량：8~20SL
3-5560-06	MC-10RC-4VR2R4A0A0-06	사양：6.35 ㎜VCR 상당 / 유량：400~1000SCCM
3-5560-10	MC-11RC-4VR2R4A0A0-10	사양：6.35 ㎜VCR 상당 / 유량：8~20SL
3-5560-11	MC-11RC-4VR2R4A0A0-11	사양：6.35 ㎜VCR 상당 / 유량：20~50SLM
3-5064-05	C1005	전유량-가스 종류：10SCCM-H2
3-5065-01	C1005	전유량-가스 종류：20SCCM-Air
3-5065-04	C1005	전유량-가스 종류：20SCCM-He
3-5067-02	C1005	전유량-가스 종류：100SCCM-N2
3-5068-01	C1005	전유량-가스 종류：200SCCM-Air
3-5068-04	C1005	전유량-가스 종류：200SCCM-Air
3-5071-04	C1005	전유량-가스 종류：2SLM-He
3-5072-03	C1005	전유량-가스 종류：5SLM-Ar
3-5560-03	MC-10RC-4VR2R4A0A0-03	사양：6.35 ㎜VCR 상당 / 유량：40~100SCCM
3-5560-07	MC-10RC-4VR2R4A0A0-07	사양：6.35 ㎜VCR 상당 / 유량：800~2000SCCM
3-5064-01	C1005	전유량-가스 종류：10SCCM-Air
3-5064-02	C1005	전유량-가스 종류：10SCCM-N2
3-5065-02	C1005	전유량-가스 종류：20SCCM-N2
3-5067-03	C1005	전유량-가스 종류：100SCCM-Ar
3-5068-02	C1005	전유량-가스 종류：200SCCM-Air
3-5069-01	C1005	전유량-가스 종류：500SCCM-Air
3-5069-02	C1005	전유량-가스 종류：500SCCM-N2
3-5070-05	C1005	전유량-가스 종류：1SLM-H2
3-5071-01	C1005	전유량-가스 종류：2SLM-Air
3-5071-02	C1005	전유량-가스 종류：2SLM-N2
3-5559-09	MC-11RC-4SWLR4A0A0-09	사양：6.35 ㎜SWL 상당 / 유량：4~10SLM
3-5561-01	MC-10RC-4RC1R4A0A0-01	사양：6.35 ㎜RC 상당 / 유량：10~20SCCM
3-5561-03	MC-10RC-4RC1R4A0A0-03	사양：6.35 ㎜RC 상당 / 유량：40~100SCCM
3-5561-08	MC-10RC-4RC1R4A0A0-08	사양：6.35 ㎜RC 상당 / 유량：2~5SLM
3-5066-02	C1005	전유량-가스 종류：50SCCM-N2
3-5067-05	C1005	전유량-가스 종류：100SCCM-H2
3-5069-04	C1005	전유량-가스 종류：500SCCM-He
3-5070-02	C1005	전유량-가스 종류：1SLM-N2
3-5072-05	C1005	전유량-가스 종류：5SLM-H2
3-5559-03	MC-10RC-4SWLR4A0A0-03	사양：6.35 ㎜SWL 상당 / 유량：40~100SCCM
3-5561-10	MC-11RC-4RC1R4A0A0-10	사양：6.35 ㎜RC 상당 / 유량：8~20SL
3-5064-03	C1005	전유량-가스 종류：10SCCM-Ar
3-5064-04	C1005	전유량-가스 종류：10SCCM-He
3-5065-03	C1005	전유량-가스 종류：20SCCM-Ar
3-5067-01	C1005	전유량-가스 종류：100SCCM-Air
3-5067-04	C1005	전유량-가스 종류：100SCCM-He
3-5068-03	C1005	전유량-가스 종류：200SCCM-Air
3-5069-03	C1005	전유량-가스 종류：500SCCM-Ar
3-5071-03	C1005	전유량-가스 종류：2SLM-Ar
3-5071-05	C1005	전유량-가스 종류：2SLM-H2
3-5559-04	MC-10RC-4SWLR4A0A0-04	사양：6.35 ㎜SWL 상당 / 유량：80~200SCCM
3-5559-06	MC-10RC-4SWLR4A0A0-06	사양：6.35 ㎜SWL 상당 / 유량：400~1000SCCM
3-5561-04	MC-10RC-4RC1R4A0A0-04	사양：6.35 ㎜RC 상당 / 유량：80~200SCCM
3-5561-09	MC-11RC-4RC1R4A0A0-09	사양：6.35 ㎜RC 상당 / 유량：4~10SLM

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MASS FLOW CONTROLLERS

매스플로우 컨트롤러(제어전원 일체형)

CODE NO	MODEL	SPECIFICATION
3-5062-01	CUBEMFC1005	전유량-대응 가스 : 2SLM-Air
3-5062-02	CUBEMFC1005	전유량-대응 가스 : 2SLM-N2
3-5063-03	CUBEMFC1005	전유량-대응 가스 : 5SLM-Ar
3-5055-01	CUBEMFC1005	전유량-대응 가스 : 10SCCM-Air
3-5056-03	CUBEMFC1005	전유량-대응 가스 : 20SCCM-Ar
3-5058-02	CUBEMFC1005	전유량-대응 가스 : 100SCCM-N2
3-5058-05	CUBEMFC1005	전유량-대응 가스 : 100SCCM-H2
3-5059-05	CUBEMFC1005	전유량-대응 가스 : 200SCCM-H2
3-5061-05	CUBEMFC1005	전유량-대응 가스 : 1SLM-H2
3-5062-04	CUBEMFC1005	전유량-대응 가스 : 2SLM-He
3-5059-03	CUBEMFC1005	전유량-대응 가스 : 200SCCM-Ar
3-5063-04	CUBEMFC1005	전유량-대응 가스 : 5SLM-He
3-5063-05	CUBEMFC1005	전유량-대응 가스 : 5SLM-H2
3-5055-02	CUBEMFC1005	전유량-대응 가스 : 10SCCM-N2
3-5056-02	CUBEMFC1005	전유량-대응 가스 : 20SCCM-N2
3-5057-02	CUBEMFC1005	전유량-대응 가스 : 50SCCM-N2
3-5058-01	CUBEMFC1005	전유량-대응 가스 : 100SCCM-Air
3-5059-01	CUBEMFC1005	전유량-대응 가스 : 200SCCM-Air
3-5060-02	CUBEMFC1005	전유량-대응 가스 : 500SCCM-N2
3-5060-05	CUBEMFC1005	전유량-대응 가스 : 500SCCM-H2
3-5061-04	CUBEMFC1005	전유량-대응 가스 : 1SLM-He
3-5055-03	CUBEMFC1005	전유량-대응 가스 : 10SCCM-Ar
3-5055-04	CUBEMFC1005	전유량-대응 가스 : 10SCCM-He
3-5055-05	CUBEMFC1005	전유량-대응 가스 : 10SCCM-H2
3-5056-04	CUBEMFC1005	전유량-대응 가스 : 20SCCM-He
3-5056-05	CUBEMFC1005	전유량-대응 가스 : 20SCCM-H2
3-5057-03	CUBEMFC1005	전유량-대응 가스 : 50SCCM-Ar
3-5060-03	CUBEMFC1005	전유량-대응 가스 : 500SCCM-Ar
3-5060-04	CUBEMFC1005	전유량-대응 가스 : 500SCCM-He
3-5061-01	CUBEMFC1005	전유량-대응 가스 : 1SLM-Air
3-5061-02	CUBEMFC1005	전유량-대응 가스 : 1SLM-N2
3-5063-01	CUBEMFC1005	전유량-대응 가스 : 5SLM-Air
3-5057-05	CUBEMFC1005	전유량-대응 가스 : 50SCCM-H2
3-5058-04	CUBEMFC1005	전유량-대응 가스 : 100SCCM-He
3-5059-04	CUBEMFC1005	전유량-대응 가스 : 200SCCM-He
3-5062-03	CUBEMFC1005	전유량-대응 가스 : 2SLM-Ar
3-5062-05	CUBEMFC1005	전유량-대응 가스 : 2SLM-H2
3-5056-01	CUBEMFC1005	전유량-대응 가스 : 20SCCM-Air
3-5057-01	CUBEMFC1005	전유량-대응 가스 : 50SCCM-Air
3-5057-04	CUBEMFC1005	전유량-대응 가스 : 50SCCM-He
3-5058-03	CUBEMFC1005	전유량-대응 가스 : 100SCCM-Ar
3-5059-02	CUBEMFC1005	전유량-대응 가스 : 200SCCM-N2
3-5060-01	CUBEMFC1005	전유량-대응 가스 : 500SCCM-Air
3-5061-03	CUBEMFC1005	전유량-대응 가스 : 1SLM-Ar
3-5063-02	CUBEMFC1005	전유량-대응 가스 : 5SLM-N2

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