●열식 유량센서는 외부온도 영향을 잘 받지 않습니다.
●스타트 시의 플로 서지 현상을 억제합니다.

●유량 정도 : ±2%FS(정도보증 범위 15~35℃)
●응답성 : 6sec
●유량제어범위5~100%FS : 
●입출력 : 아날로그신호(0~5VDC)
●펄스 형식 : N/O 노말 오픈
●재현성 : ±0.2%FS
●동작압력범위 : 50~300kPa
●내압 : 1MPa(G)
●외부 리크레이트 : 1x10^-7Pa·㎥/sec(He)이하
●접 가스부 재질 : SUS316, PTFE, 불소고무
●접속 : 1/4in, SWL상당
●전원 : +15VDC±5% 60mA, -15VDC±5% 150mA
●통신방식 : 아날로그 0~5VDC(D-Sub 9Pin 커넥터)
●사이즈 : 127x25.5x100mm