category
계측·측정·검사
온도·습도 측정 기기
시온라벨 잉크 페인트
극소 사이즈의 진공내 측정 씰입니다.
TEMP-PLATE FOR VACUUM
진공용 템프플레이트(비가역성)
특징
●물·가스·약품등의 영향을 받지 않고 온도 측정을 할 수 있습니다.
●플라스마 분위기 대책으로서 캡톤 필름으로 커버되어 있습니다.
●라벨의 구석으로부터 시온소자까지 1㎜이므로, 웨이퍼·엣지의 온도를 측정할 수 있습니다.
●이면 인쇄이므로 진공중에서의 인쇄 잉크 비산을 막아, 아웃 가스를 억제합니다.
●플라스마 분위기 대책으로서 캡톤 필름으로 커버되어 있습니다.
●라벨의 구석으로부터 시온소자까지 1㎜이므로, 웨이퍼·엣지의 온도를 측정할 수 있습니다.
●이면 인쇄이므로 진공중에서의 인쇄 잉크 비산을 막아, 아웃 가스를 억제합니다.
사양
●표시：3점 표시
●정도：±1%(100℃이하±1℃)
●반응속도：1초(수중, 완만한 열구배)
●사이즈：8㎜×3㎜
●시온사이즈：φ1.5㎜
●정도：±1%(100℃이하±1℃)
●반응속도：1초(수중, 완만한 열구배)
●사이즈：8㎜×3㎜
●시온사이즈：φ1.5㎜
